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產品詳情
CIF離子濺射儀是一款專為貴金屬及合金材料鍍膜研制的較高精度設備,集控制技術與人性化設計于一體,可實現精準、高效且穩定的濺射鍍膜工藝。廣泛適用于科研實驗與精密制造領域,為用戶提供高質量、一致性的鍍膜效果。
產品特點:
u 智能觸控,數據可視:7英寸彩色觸摸屏,支持中英文界面,實時監測并調控工藝參數;可存儲20組配方程序,數據全程可追溯,確保工藝標準化與重復性。
u 靈活操控,雙模式適配: PLC控制系統,支持手動/自動切換,適應多樣應用場景,操作更自由。
u 精準控氣,工藝兼容性強:氣體流量自動調節,內置質量流量計,精準控制氣體流量(0-500sccm),支持氧氣、氬氣、氮氣等多種工藝氣體,滿足多樣化鍍膜需求。
u 均勻鍍膜,一致性高:樣品臺可旋轉(0–50rpm可調)并具備高度調節功能(15–50mm),顯著提升膜層均勻性與一致性,適配多種靶材。
u 人性化設計,操作舒適:60°傾角操作面板,符合人機工程學,界面清晰簡潔,操作流暢便捷。
u 低溫處理,樣品無損:鍍膜過程中樣品溫度維持在40–50℃,有效避免熱損傷與熱氧化,保留樣品本征特性。
u 潔凈防護,避免污染:配備氣體返填吹掃與HEPA高效過濾系統,防止污染物殘留,確保鍍膜環境潔凈可靠。
u 多重安全保障:艙門開啟自動斷電,內置多項安全保護機制,使用更安心。
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